- ASAHI YUKIZAI CLC具有專利的獨特直線型管路與直線型流量計設計,大幅度改善CMP製程令人困擾的結晶與氣泡堆積問題。
- 直線型流量計搭配電氣控制的Pinch Valve,大副度縮小了整體的體積。
- 高精度的流量控制能力,符合CMP對各種高階製程對slurry高精準度供液量之要求並有效減少slurry的耗損。
- 內建溫度補償功能,即時偵測流體溫度並自動補償,改善因為溫度變化導致的流量偏移。
- 具備Auto Purge功能可以有效的排除管內氣泡與進行管路的清洗。
- Maintain Free - 使用特殊配方的管材,即使經過數百萬次的擠壓或長時間的擠壓也不會變形,完全省去他牌相同製品須經常更換管材的困擾。